凯发国际官网安徽光智科技取|真钱二八杠|得一种清洗晶片用的工装专利避免清洗过程中

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  专利摘要显示,本实用新型属于半导体生产辅助设备技术领域,尤其涉及一种清洗晶片用的工装。工装包括清洗面板,所述清洗面板上设置有至少一个夹具,夹具包括:固定块凯发国际官网,至少一个固定块固定设置在清洗面板上;移动块,至少一个移动块滑动连接在清洗面板上;清洗面板上移动块和固定块围成的区域内设置有多个凸起,移动块通过移动推动放置在凸起上的待清洗晶片移动,将待清洗晶片固定在移动块和固定块之间。本实用新型采用多个凸起支撑晶片真钱二八杠凯发国际官网,通过在清洗面板上设置可移动的移动块,通过移动块的移动将晶片相对固定块固定,避免清洗过程中真钱二八杠真钱二八杠,晶片晃动。

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